序号

设备名称

规格型号

服务内容

1

扫描探针显微镜+手套箱

Bruker Dimension Icon

微观结构与各种特性，包含形貌、表面电势、电流、电阻、载流子浓度、静电力、磁力、热分布、峰值力等。惰性气体环境下，可测试水氧敏感样品

2

电致光致发光一体化检测系统

艾盛

对太阳电池制备进行全流程监控，材料与器件缺陷分布

3

少数载流子寿命测试仪

Sinton Suns-Voc

太阳电池与材料的少数载流子寿命

4

太阳电池电流-电压特性

Abet 11048、Wacom WXS-90S-L2

单结与多结太阳电池效率、开路电压、短路电流、填充因子、稳态功率

5

太阳电池量子效率特性

CEP-25ML

太阳电池的内量子效率、外量子效率

6

半导体器件参数测试仪

Keysight 4200

半导体器件的电容-电压/电流-电压特性分析，晶圆级可靠性封装器件特性分析

7

光学显微镜

MFA3017D三丰

面积的测量与界定

8

X射线断层扫描显微镜

Zeiss  Versa 610

无损探测材料结构缺陷

9

电化学CV测试系统

Buchanan CVP21

半导体材料的掺杂浓度分布

10

四探针测试仪

Napson Cresbox

测试硅晶片及扩散层、外延层、ITO导电薄膜、金属薄膜等材料的电阻率和方块电阻

11

加速老化测试仪

Hirayama PC-422R8

半导体材料与器件的加速老化

12

研磨抛光机

川禾 Smoothneer-6

研磨抛光到纳米级别平整度

13

其它

探索性测试、失效分析、非常规样品制备