名称:扫描电子显微镜
型号:卡尔蔡司 Gemini300
参数
加速电压:0.02 - 30 kV
探针电流:3pA - 20 nA
存储分辨率:最高达32k × 24k 像素
放大倍率:12 -2,000,000
GeminiSEM 300扫描电镜具有出色的分辨率、更高的衬度和更大且无畸变的成像视野。得益于高效的信号采集系统和优异的分辨率性能,可实现快速、高质量、无畸变的大范围成像;创新设计的高分辨率电子枪模式,为对磁性样品、不导电样品以及电子束敏感样品的低电压成像量身订制解决方案;蔡司独树一帜的镜筒内能量选择背散射探测器,在低电压下也可轻松地获得高质量的样品材料衬度图像;镜筒内Inlens二次电子探测器对要求苛刻的不导电样品进行高灵敏度、高分辨成像。GeminiSEM 300扫描电镜在低电压下的高分辨率成像能力,在以下不导电样品、电子束敏感样品、获取样品极表面的真实形貌信息等应用领域中扮演着尤为重要的角色。Gemini的革新电子光学设计,应用高分辨率电子枪模式,缩小30%的出射电子束能量展宽,有效地降低像差,获得更小的束斑,从而有效提高了在低电压时的信号采集效率和图像衬度。